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背板


电热合金

背板

靶材和背板完美绑定是溅镀工艺的一个关键环节,从而为溅镀提供最大导热性能和机械强度。为了满足使用者溅镀镀膜的需要, 能够依据靶材材质的特点或客户的需要,针对特定设备提供全系列背板,对靶材和背板提供高温,低温或粘接绑定服务。靶材背板的合理选择与绑定能够提高靶材的使用寿命以及镀膜的效率,并且还能提高薄膜系数达成率。    

绑定方式 
使用金属铟(Indium)绑定
铟绑定是黏合于蒸镀溅镀靶材及背板的中间。主要绑定材料可以完全性的保护阻隔靶材。金属绑定技术具有良好的导电及导热性,也可供DC及RF电流所使用。此种绑定可承受温度高达156°C。

Elastomer 材质绑定
这种弹性的绑定技术是具有专利的,最初是没有办法将金属有效的绑定在金属上。但此种技术这几年有很大的发展,现在在我司业务上占有相当高的比例。由于铟价格上涨,此种绑定技术是符合成本利益效应的替代方案。因靶材及背板都为耗材,回收铟的这块也比较不符合经济效益。

   

背板材料:铜、铝、钛,钼,不锈钢等
背板尺寸:2,000 × 1,500 mm
最快备货时间:1-3天 
绑定覆盖面:≧95%    

立承德( NEXTECK )提供各类纯金属及非金属靶材,合金及化合物靶材,以及各种贵金属靶材,产品广泛运用于溅射薄膜太阳能行业、平面显示行业、装饰和功能镀膜行业、建筑玻璃、汽车玻璃行业等科技领域,竭诚欢迎选购及合作。