溅射靶材的靶极溅射工艺生产分为那几类？

溅射靶材的靶极溅射制备按工艺可分为熔融法和粉末冶金两大类。高纯金属如Al、Ti、Ni、Cu、Co等具有良好塑性，使用熔融法制备，将一定成分配比的合金原料熔炼电子束或电弧、等离子熔炼等，再将合金熔液浇注于模具中，形成铸锭，最后将得到的锭进行热处理和机械加工，制成靶材。

为保证铸锭中杂质元素含量尽可能低, 通常其冶炼和浇注在真空或保护性气氛下进行。但铸造过程中, 材料组织内部难免存在一定的孔隙率, 这些孔隙会导致溅射过程中的微粒飞溅, 从而影响溅射薄膜的质量。为此, 需要后续热加工和热处理工艺降低其孔隙率。通常该法制备的靶材杂质含量（特别是气体杂质含量）低，密度高，可大型化生产；但是仍存在靶材晶粒尺寸和晶粒织构取向均匀性较难控制的缺点。

对于W、Mo和R等难熔金属及合金材料，通常采用粉末烧结法制备溅射靶极。粉末冶金法是将一定成分配比的合金原料熔炼, 浇注成铸锭后再粉碎, 将粉碎形成的粉末经等静压成形, 再高温烧结, 最终形成靶材。常用的粉末冶金工艺包括冷压、真空热压和热等静压等。粉末冶金法适合于难熔金属如钨、钼靶材及陶瓷靶材的制备。优点是靶材成分均匀，可获得超细晶粒;缺点是杂质含量高，同时密度低,容易造成微粒飞溅。

高纯溅射靶材是伴随着半导体工业的发展而兴起的，研发生产设备专用性强，涉及测试平台精密度高。全球半导体工业的区域集聚性造就了高纯溅射靶材生产企业的高度聚集。溅射镀膜工艺起源于国外，西方国家投入较早。目前，全球半导体溅射靶材研制和生产主要集中在美国、日本少数几家公司。以霍尼韦尔（美国）、日矿金属（日本）、东曹（日本）等跨国集团为代表的溅射靶材生产商较早涉足该领域，经过几十年的技术积淀，凭借其雄厚的技术力量、精细的生产控制和过硬的产品质量居于全球溅射靶材市场的主导地位，占据绝大部分市场份额。